烟台旋片干式真空泵机组

干式真空泵的特殊处理：由于化工、制药等相关工艺气中会不同程度含有易燃、易爆以及腐蚀性气体，所以干式真空泵需要特殊处理。干式螺杆真空泵内部结构简单，两根转子、泵腔均可做防腐处理，可选用镍磷涂层和特氟龙两种涂层。爪式真空泵很难做防腐处理，各级隔板之间几乎无法做表面处理，转子表面的防腐涂层也容易在装配时损伤。无油涡旋真空泵只适合抽洁净的气体，不能抽取易燃、易爆及具有腐蚀性的气体。烟台旋片干式真空泵机组

干式真空泵的抽气量：无油涡旋真空泵由于内部结构问题，抽气量较小，只适用于小抽气量的工艺中；干式螺杆真空泵型号齐全，可适用大抽气量工艺中，配合罗茨真空泵可以满足不同客户的需求。烟台旋片干式真空泵机组

干式真空泵的稳定性：干式螺杆真空泵性能稳定，噪音低，故障率低；无油往复真空泵结构简单，噪音较高，需要经常更换滑片。爪式真空泵由于装配复杂，转子与轴不为一体，出现故障需全部重新拆解装配，反复装配从而降低产品性能及稳定性。

干式真空泵的真空度：干式螺杆真空泵、爪式真空泵、无油涡旋真空泵极限真空度都很高，较高极限真空均可达到1-2Pa；无油往复真空泵为粗真空设备，极限真空度低，需要搭配罗茨真空泵提高极限真空。

干式机械真空泵的应用是较广的，主要有以下几个方面： 1 低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中； 2 半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒； 3 除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求； 4 在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵； 5 用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。烟台湿式干式真空泵优点

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