烟台微纳叉指电极

叉指电极性能的影响因素主要有两部分，一部分是电极构成材料，主要材料有金、银、ITO 等,金、银电极性能较好，但是其价格较昂贵，性价比较低，而ITO电极不仅成本低，而且性能也不错,是目前叉指电极研究较热的材料。另一部分影响因素则是电极结构，主要有叉指数、指长、指宽比、指间距以及电极厚度等,这些参数都会给传感器的检测效果带来很大影响。用电化学方法在叉指电极上沉积纳米 ZnO，随后将链酶亲和素修饰在纳米 ZnO 上，并将生物素化的球菌抗体固定到传感器的表面。叉指电极中光刻是微纳加工工艺中制备图型化表面常用的工艺。烟台微纳叉指电极

PET 是目前一种流行的塑料树脂，也是商业上常用的聚酯类型。PET 也具有很多优异的化学和物理性能，比如优异的机械性能、低扩散性等。PET 作为衬底材料，具有透明度高、耐化学性好、抗冲击性强的的特点。同时，PET 内具有低模量的合成纤维，其性能接近于其他聚合物，例如聚乙烯、尼龙和聚酯。PI 作为常用的柔性材料之一，具有优异的物理化学性能。比如热稳定性、机械性能、高击穿强度、绝缘性。集成在 PI 网络上的可拉伸和可扩展结构，能够将电子皮肤传感功能扩展到多功能传感，包括温度、湿度、光和压力等。玻璃叉指电极研发合作生物叉指电极必须具有良好的生物相容性、质量可靠性等。

叉指电极的电极部分作为电化学检测时的平台和电子传递的通道，一般使用惰性导电材料，用金、铂、铝、银、ITO、铬、碳等。电极材料的选择与电极的应用、检测介质的成分和检测环境对材料的影响以及制造工艺的可行性相关，需根据实际应用情况进行选择。例如，ITO 导电玻璃电极因其透光性好、电阻低常被用于光电子器件，金电极能够减少氧化产物，促进氧化还原循环常被用于污染物的检测。目前，金仍然是电极制备的常用金属，它突出的电学特性，可以提升微电极的导电性能，且兼具无毒，亲和生物材料能够偶联疏基的特性使其拥有难以比拟的应用优势。碳材料具有较宽的电位窗口而且形态多样，有些甚至具有其他材料没有的电学性能，因而在电极制备中是非常理想的电极材料。目前，多种新型碳基材料被用于微电极的制备，并对微电极传感器的性能改进起到了重要作用。

用于高灵敏免疫分析的微间距叉指阵列电极,如96孔U型板，用于酶或者细胞的批量检测。微间距叉指阵列电极制备采用传统的光刻显影镀膜方法，在清洁光刻基片（石英、陶瓷或玻璃材料）上用甩胶机上涂上一层光刻胶，然后在光刻机中将掩膜版与基片对准，紫外曝光将掩膜版上的图形转移到基片上，显影去掉曝光部分的光刻胶，采用真空溅射在基片上依次喷涂30nm厚的Ti层和120nm厚的Au层，用有机溶剂氯仿除去基片上的感光胶后，可制备得到微间距叉指阵列金电极。柔性叉指电极传感器可通过嵌入衣物内部、贴附在机器人或人类皮肤表面等方式感知外部环境情况。

电极由两个微电极阵列组成，其中梳为多个宽度和间距为微米级的条形电极组成。与传统电极半无限线性扩散层表面不同，微叉指电极采用微米级的结构，电极表面的球形扩散场能够使反应物的供给速率得到很大的提升，从而很大程度提高了微叉指电极的信噪比和灵敏度。模板法、光刻法、自组装法是微叉指电极常用的制作方法。模板法是通过改变制作材料的参数间接合成并控制结构参数:光刻法首先在绝缘基底上通过气象沉积得到一层导电薄膜，然后在其表面均匀涂抹一层光刻胶并覆盖上光刻模板，然后用光照和化学溶解制作出阵列电极。自组装法利用纳米粒子间的非共价键特性，能够使其在电极表面自动形成规则的纳米薄膜。微电极具有微创、无痛或微痛、成本低、和操作简易、可降解的特点。长沙叉指电极研发

电化学叉指电极是一类以微生物作为识别元件的生物传感器。烟台微纳叉指电极

为保证叉指电极的良率和性能，所有工艺步骤均在超净间内完成，采用剥离工艺进行电极制作。首先，利用热氧化生长500 nm 二氧化硅硅片以确保衬底的绝缘性。将硅片用乙醇、超纯水超声清洗，并氮吹干燥保证表面洁净。然后旋涂光刻胶，前烘后进行光刻，其中不同尺寸的叉指电极选用不同尺寸的掩膜版。在光刻、显影将电极图形转移至二氧化硅衬底后，用氧等离子体刻蚀去除残胶。然后电子束蒸发沉积一层 10nm/70nm 的Cr/Au，其中Cr为金电极的黏附层。依次在乙醇、超纯水中进行超声清洗，完成剥离后切片即得到叉指电极传感器。烟台微纳叉指电极

芯云纳米技术（苏州）有限公司是一家从事微针，叉指电极，微纳加工，生物芯片定制研发、生产、销售及售后的其他型企业。公司坐落在若水路388号苏州纳米技术国家大学科技园B幢1102室，成立于2014-08-04。公司通过创新型可持续发展为重心理念，以客户满意为重要标准。在孜孜不倦的奋斗下，公司产品业务越来越广。目前主要经营有微针，叉指电极，微纳加工，生物芯片定制等产品，并多次以电子元器件行业标准、客户需求定制多款多元化的产品。我们以客户的需求为基础，在产品设计和研发上面苦下功夫，一份份的不懈努力和付出，打造了芯云纳米产品。我们从用户角度，对每一款产品进行多方面分析，对每一款产品都精心设计、精心制作和严格检验。芯云纳米技术（苏州）有限公司注重以人为本、团队合作的企业文化，通过保证微针，叉指电极，微纳加工，生物芯片定制产品质量合格，以诚信经营、用户至上、价格合理来服务客户。建立一切以客户需求为前提的工作目标，真诚欢迎新老客户前来洽谈业务。