芯片实验室温度控制在什么精度？

南京拓展科技有限公司2025-03-06

走进某芯片前沿企业百级洁净车间，工程师们正在精密环控系统营造的"微气候"中作业。这里的温度波动需要控制在±0.005℃范围内。这种近乎严苛的环境控制，正是纳米芯片光刻工艺的关键支撑。"环境控制已成为现代科研的'第二实验室'。"南京拓展科技总工程师介绍，在生物医药领域，疫苗研发需要持续21天的±0.5℃恒温环境；航空航天材料测试对湿度波动的要求精确到±2%RH；而在芯片制造过程中，光刻环节更是关键与关键。为保证光刻机稳定运行，需要将其置于极高精密的温湿度波动环境内运行。温度和湿度的细微变化，都可能导致光刻机内部的光学元件、机械部件产生热胀冷缩或物理性质改变，进而影响光线传播路径、聚焦精度以及机械运动的准确性，对芯片制造的质量和良率起着决定性作用。

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